Библиографическая информация
| Автор | Борисенко, А. С. |
|---|---|
| Название | Технология и оборудование для производства микроэлектронных устройств |
| Выходные данные | Москва : Машиностроение |
| Год издания | 1983 |
| Тип ресурса | Учебник |
| Вид фонда | Ретро-книги |
| Страница | 320 с. |
| Тираж | 14000 экз. |
| Классификационные индексы |
|
| Язык | Русский язык |






