Bibliographic information
| Author | Борисенко, А. С. |
|---|---|
| Title | Технология и оборудование для производства микроэлектронных устройств |
| Publication | Москва : Машиностроение |
| Publication Year | 1983 |
| Resource Type | Textbook |
| Collection type | Retro books |
| Page | 320 p. |
| Print Run | 14000 copies |
| Classification indexes |
|
| Language | Russian language |
