Оптико-электронные методы автоматизированного контроля топологии изделий микроэлектроники.

Müəllif	Чехович, Е. К.
Başlıq	Оптико-электронные методы автоматизированного контроля топологии изделий микроэлектроники.
Nəşr məlumatı	Минск : Наука и техника
Nəşr ili	1989
Fondun növü	Retro kitablar
Səhifə	213 səh.
Ölçüləri	20.00 sm
Tiraj	1700 nüsxə
Standart nömrə	ISBN 5-343-00087-8
Təsnifat göstəriciləri	Təsnifatı: 47.03.05 Universal Ondalıq Təsnifatı (UOT): 621.3
Digər məsul şəxslər və qurumlar	Мельников, В. П. рец.; Академия Наук Белорусской ССР институт электроники
Dil	Rus dili

Оптико-электронные методы автоматизированного контроля топологии изделий микроэлектроники. / Е. К. Чехович ; рец. В. П. Мельников ; Академия Наук Белорусской ССР институт электроники. - Минск : Наука и техника, 1989. - 213 с. : рис. ; 20 см. - 1700 экз. . - ISBN 5- 343-00087-8 : 1. 70 р. - ГРНТИ 47. 03. 05 УДК 621. 3 измерительной техника Доп. точки доступа: Мельников, В. П. \рец. \; Академия Наук Белорусской ССР институт электроники