Оптико-электронные методы автоматизированного контроля топологии изделий микроэлектроники.

Author	Чехович, Е. К.
Title	Оптико-электронные методы автоматизированного контроля топологии изделий микроэлектроники.
Publication	Минск : Наука и техника
Publication Year	1989
Collection type	Retro books
Page	213 p.
Dimensions	20.00 cm
Print Run	1700 copies
Standard number	ISBN 5-343-00087-8
Classification indexes	Classification: 47.03.05 Universal Decimal Classification (UDC): 621.3
Additional access points	Мельников, В. П. рец.; Академия Наук Белорусской ССР институт электроники
Language	Russian language

Оптико-электронные методы автоматизированного контроля топологии изделий микроэлектроники. / Е. К. Чехович ; рец. В. П. Мельников ; Академия Наук Белорусской ССР институт электроники. - Минск : Наука и техника, 1989. - 213 с. : рис. ; 20 см. - 1700 экз. . - ISBN 5- 343-00087-8 : 1. 70 р. - ГРНТИ 47. 03. 05 УДК 621. 3 измерительной техника Доп. точки доступа: Мельников, В. П. \рец. \; Академия Наук Белорусской ССР институт электроники