Оптико-электронные методы автоматизированного контроля топологии изделий микроэлектроники.

Автор	Чехович, Е. К.
Название	Оптико-электронные методы автоматизированного контроля топологии изделий микроэлектроники.
Выходные данные	Минск : Наука и техника
Год издания	1989
Вид фонда	Ретро-книги
Страница	213 с.
Размеры	20.00 см
Тираж	1700 экз.
Стандартный номер	ISBN 5-343-00087-8
Классификационные индексы	Классификация (ГРНТИ): 47.03.05 Универсальная десятичная классификация (УДК): 621.3
Доп. точки доступа	Мельников, В. П. рец.; Академия Наук Белорусской ССР институт электроники
Язык	Русский язык

Оптико-электронные методы автоматизированного контроля топологии изделий микроэлектроники. / Е. К. Чехович ; рец. В. П. Мельников ; Академия Наук Белорусской ССР институт электроники. - Минск : Наука и техника, 1989. - 213 с. : рис. ; 20 см. - 1700 экз. . - ISBN 5- 343-00087-8 : 1. 70 р. - ГРНТИ 47. 03. 05 УДК 621. 3 измерительной техника Доп. точки доступа: Мельников, В. П. \рец. \; Академия Наук Белорусской ССР институт электроники